监控是车间洁净区关键控制之一。它可以提供有关生态环境的宝贵信息，尤其是在自然环境中实施无菌操作原则的过程中，显示产品放行的重要参考依据。此外，监控也能及时鉴别车间中隐性的污染，及时纠正措施，以避免污染进一步扩散进而影响商品。因此，在洁净厂房安装监控系统时，要特别注意以下几方面：

洁净厂房空调系统与一般工业建筑的空调系统的差异，它主要对管制区的洁净度有非常高规定。半导体器件厂房内，在硅衬底上只需落有电路线宽1/10～1/3大小的小浮尘，就会导致处理芯片线路短路。洁净厂房空调系统除对洁净度要求很高外，还对温度、环境湿度、振动、噪声等都有不同水平规定。

电子制造净化车间中，依据电子产品生产工艺流程规定设定防静电环境中的关键场所也有对静电充放电敏感电子元件、部件、仪器设备及设备的生产及使用场所。实际操作场所包含外包装、传送、检测、拼装及与这种实际操作相关的主题活动；配备静电充放电敏感仪表仪器、设备仪器的使用场所，如各种电子器件计算机机房，各种仪表仪器试验室、监控室等。